روی کف، مخزن Aixtron MOCVD نیاز به کنترل دقیق دما دارد تا فرآیند اپیتکسی در محدوده استاندارد باقی بماند. اگر عنصر گرمایشی دچار تغییرات شود، قابلیت تکرارپذیری فرآیند کاهش خواهد یافت. در این صورت، دمای ویفرها نامنظم میشود و تعداد نقصها نیز افزایش مییابد. نمیتوانید منتظر رفع این مشکلات بمانید.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما قطعات یدکی مناسب برای عناصر گرمایشی Aixtron را طوری طراحی میکنیم که با رفتار حرارتی مخزن هماهنگ باشند. شکل هندسی این قطعات با ناحیه مربوط به گرمایش سازگار است؛ همچنین از موادی استفاده میشود که به سرعت واکنش نشان دهند و مقاومت خود را در طول زمان حفظ کنند. در نتیجه، یکنواختی دمای ویفرها در طول فرآیند گرمایش، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ بنابراین پارامترهای مربوط به فرآیند گرمایش در هر بار تولید، یکسان باقی میماند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین هیچ ذرهای تولید نمیکند. بنابراین تعداد ذرات در طول تغییرات، ثابت باقی میماند. این دستگاه برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است و عمر مفید آن نیز بسیار طولانی است.
چرا این موضوع در لیتوگرافی اهمیت دارد
در فرآیندهای لیتوگرافی و مراحل حرارتی مرتبط با آن، دقت دما، عامل کنترل عرض خطوط و جلوگیری از نقصهاست. استفاده از قطعات یدکی مناسب Aixtron، باعث حفظ تعادل حرارتی مخزن میشود؛ بنابراین میتوانید فرآیند تولید را بدون مشکل ادامه دهید.
زمان توقف فرآیند کاهش مییابد، بازدهی تولید حفظ میشود و مصرف انرژی نیز در سطح استاندارد باقی میماند؛ زیرا این قطعات به خوبی گرما تولید کرده و دما را در حالت ثابت نگه میدارند. قابلیت تکرارپذیری فرآیند نیز بازمیگردد و میزان مواد باکیفیت کاهش مییابد.
جزئیاتی که شما را از مشکلات در امان نگه میدارد
برای نصب این دستگاه، باید به قوانین مربوط به ESD توجه کرد و تنش مناسبی بر روی قطعات مربوطه اعمال شود. در غیر این صورت، فاصلههای بسیار کوچکی ایجاد میشود و این امر باعث تغییرات در نقشه دمایی میشود. لطفاً نوع کانکتور، ولتاژ و ابعاد آن را با نسخه مخزن خود مطابقت دهید؛ زیرا عدم تطابق این موارد، باعث اختلال در انتقال حرارت میشود.
همچنین، باید تعویض قطعات را در زمانهای مشخص برنامهریزی کرد؛ این کار باعث جلوگیری از شوکهای حرارتی و حفاظت از پوششهای مخزن میشود.