در این فرآیند، ویفر از مراحل پخت نرم، پخت سخت و خشک کردن عبور میکند؛ هیچ جایی برای اختلافات در دما وجود ندارد. یک نقطه داغ با دمای ۲ درجه سانتیگراد در مرحله پخت فوتورزیست، میتواند باعث ایجاد مشکلاتی شود. همچنین، سرمای ناشی از فرآیند خشک کردن، میتواند باعث ایجاد ذراتی شود که بعداً مشکلات جدی ایجاد کنند. در اینجا، قابلیت اطمینان یک شعار نیست؛ بلکه میزان تولید محصولات سالم در هر ساعت است.
از نظر فنی، ما روی کنترل دقیق دما تمرکز داریم. ما هیترهایی طراحی میکنیم که دما را در سراسر سطح ویفر در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنند؛ همچنین، پروفایلهای دمایی قابل پیشبینی هستند و مقادیر تنظیمشده در شرایط بار، تغییر نمیکنند. لامپهای هالوژنی کوارتز، پاسخ سریع و تمیزی ارائه میدهند و گازهای ناشی از آنها نیز به حداقل میرسد. حسگرهای چرخه بسته نیز دما را در محدوده مشخص شده حفظ میکنند.
سازگاری با استانداردهای اتاقهای پاک، از طریق استفاده از مواد کمذره، اتصالات بسته و سیستمهای تخلیه گازها، تأمین میشود. ما ادعا نمیکنیم که «هیچ ذرهای تولید نمیشود»؛ بلکه آن را اندازهگیری کرده و با استفاده از دستگاههای نظارتی، آن را بررسی میکنیم.
دلیل اهمیت این موضوع این است که در فرآیندهای خشک کردن و تمیز کردن ویفر، هیترها سطوح ویفر را بدون ایجاد شوک حرارتی خشک میکنند؛ در نتیجه، نقصها کمتر شده و نیاز به بازسازی کمتر میشود. در فرآیند لیتوگرافی، این هیترها با قابلیت تکراربخشی بالا، فرآیندهای پخت نرم و سخت را به خوبی انجام میدهند؛ در نتیجه، کنترل ابعاد ویفر و پروفایلهای سمتی آن، در محدوده مشخص شده باقی میماند. در فرآیند بستهبندی نیز، این هیترها باعث خشک کردن و بستهبندی منظم ویفر میشوند، بدون اینکه از محدوده دمایی مشخص شده فراتر روند.
مزایای این روش واضح است: تعداد محصولات ناقص کمتر میشود، نمودارهای SPC نیز تغییرات ناگهانی ندارند، و مصرف انرژی نیز متناسب با فرآیند است، نه متناسب با هیتر.
چند نکته که باید در نظر گرفته شود: هیترها با پلتفرمهای استاندارد OEM سازگار هستند، اما صافی سطح ویفر و هندسه تماس آن باید مطابق با استانداردها باشد. راهاندازی سیستم سریع است، اما هنوز هم نیاز به تنظیم سرعتهای دمایی وجود دارد.
اگر در محیطی با رطوبت بالا کار میکنید، باید به مدیریت آب موجود در دریچههای تخلیه توجه کنید. وقتی همه چیز درست تنظیم شود، سیستم میتواند ۲۴ ساعته کار کند، و نیازی به تعمیرات ناگهانی نیست.