روش صحیح خشک کردن نیمههادیها (بدون هدررفت انرژی)
هنگام کار با ویفرها، لازم است که رطوبت آنها از بین برود؛ و این کار باید به سرعت انجام شود. اما اگر روش خشک کردن بیش از حد انتهایی باشد، ممکن است ویفر آسیب ببیند. برای مدت طولانی، افراد از سیستمهای قدیمی برای خشک کردن استفاده میکردند؛ اما اکنون ما به سمت کنترلرهای دیجیتال مبتنی بر فرابنفش روی آوردهایم. چرا؟ چون روش قدیمی باعث هدررفت مقدار زیادی انرژی میشود و زمان زیادی برای گرم شدن صرف میگردد. استفاده از کنترلرهای دیجیتال، راهی برای دستیابی به یک محیط تمیزتر و کارآمدتر است.
نحوه عملکرد کنترلرهای دیجیتال
مشکل لامپهای فرابنفش استاندارد این است که آنها فقط گرما تولید میکنند؛ برایشان مهم نیست که ویفر از قبل خشک شده است یا هنوز مرطوب است؛ آنها همچنان انرژی تولید میکنند.
ما این مشکل را با استفاده از کنترلرهای دیجیتال حل کردیم؛ این کنترلرها واقعاً به آنچه در لحظه رخ میدهد، توجه میکنند. با استفاده از روشهایی مانند PWM یا کنترل زاویه فاز، میتوانید دما را در محدوده مناسبی نگه دارید. دیگر نیازی نیست نگران فراتر رفتن از محدوده تنظیم شده باشید.
البته، یک مشکل وجود دارد: این کنترلرهای پرتوان، گرمای زیادی تولید میکنند؛ بنابراین اگر سیستم تهویه مناسبی نداشته باشید، الکترونیکهای مورد استفاده خراب خواهند شد. حتماً از فنها استفاده کنید.
صرفهجویی در انرژی (و حفاظت از محیط زیست)
اگر میخواهید به اهداف مربوط به بیثباتی کربن در کارخانههای تولید نیمههادی دست یابید، همه چیز به میزان کیلووات-ساعت انرژی مصرفی برای هر ویفر بستگی دارد.
کنترلرهای دیجیتال، حالتهای «خواب» را فراهم میکنند؛ به جای اینکه لامپها را در حالت ۱۰۰٪ نگه دارید، سیستم دما را به حداقل میرساند. این تغییر ساده، اما تأثیر زیادی دارد.
علاوه بر این، روش فرابنفش، از روش گرمایش مقاومتی کارآمدتر است؛ این روش، گرما را به داخل سطح ویفر منتقل کرده و آن را از درون خشک میکند. همه چیز سریعتر انجام میشود؛ و وقتی که چرخه کار کوتاهتر باشد، تجهیزات کمتر انرژی مصرف میکنند. این یک راه حل بسیار خوب است.
کاربرد واقعی
نصب این کنترلرها در خطوط تولید موجود، همیشه آسان نیست؛ ابتدا باید به سیستم الکتریکی موجود توجه کنید. اگر قصد استفاده از کنترلرهای پرتوان را دارید، مطمئن شوید که سیستم قطع کردن جریان، میتواند این جریان اضافی را تحمل کند.
نکته مهم دیگر این است که از کابلهای محافظتشده استفاده کنید؛ نمیخواهید که مزاحمتهای الکترومغناطیسی، سنسورهای اندازهگیری را تحت تأثیر قرار دهند. هیچ چیز بدتر از این نیست که فکر کنید ویفر شما مطابق استانداردها نیست، در حالی که در واقع مشکل از نویزهای الکتریکی در کابلهاست.