Pourquoi les réflecteurs recouverts d’or sont si importants
Lorsque l’on chauffe des wafer en silicium, chaque calorie d’énergie gaspillée représente en réalité de l’argent perdu. La plupart des réflecteurs standard laissent échapper trop de chaleur vers l’intérieur du châssis de la machine, ce qui est un gaspillage. C’est pourquoi nous utilisons de l’or : l’or est extrêmement efficace pour refléter les rayonnements infrarouges. Au lieu que la chaleur s’infiltre dans le châssis, elle est renvoyée directement sur le wafer, là où elle doit se trouver.
L’avantage de l’or par rapport à l’aluminium
On trouve beaucoup d’aluminium dans les produits existants. C’est un matériau courant, mais il ne gère pas aussi bien le spectre infrarouge que l’or. Nous appliquons donc une fine couche d’or sur la surface afin de minimiser l’absorption de la chaleur. L’objectif est simple : nous voulons que chaque watt produit par la lampe soit dirigé directement vers le wafer. Cela permet d’obtenir un point focal plus précis et de répartir uniformément la chaleur. Plus besoin de s’inquiéter des zones chaudes qui peuvent endommager le substrat.
Augmenter le flux thermique
Nous concevons ces lampes pour des applications nécessitant une intensité élevée. En combinant une source de rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde avec cette couche d’or, on peut transmettre davantage d’énergie au wafer en moins de temps. C’est très avantageux pour les temps de traitement. Vraiment excellent.
Mais il y a un inconvénient : toute cette densité d’énergie exerce une grande pression sur les systèmes de refroidissement. Si votre système de refroidissement n’est pas adapté à cette quantité de chaleur, la température ambiante va augmenter. Il faut donc faire attention à cela.
Assurer le bon fonctionnement
Nous avons conçu ces lampes de manière à ce qu’elles puissent être remplacées facilement. Que vous utilisiez des connecteurs R7 ou d’autres types de connecteurs spécialisés, il suffit de les remplacer simplement. Vous n’avez pas besoin de passer toute l’après-midi à recalibrer toute la ligne juste pour changer une pièce.
Un conseil important : gardez ces surfaces en or propres. Quelques empreintes digitales ou une couche de poussière peuvent créer des « taches sombres » dans le schéma de rayonnement. Utilisez un chiffon sans peluches et des solvants appropriés pour maintenir la surface brillante. Si la couche d’or commence à s’écailler ou à s’oxyder, l’efficacité de la lampe diminuera. Vous devrez alors augmenter la tension électrique pour compenser, ce qui peut rapidement endommager la lampe.