
Pourquoi la cuisson par rayonnement infrarouge en vide est la solution idéale pour les puces sans plomb
Le monde des semi-conducteurs s’oriente de plus en plus vers des normes “vertes” et exemptes de plomb. Pendant longtemps, on utilisait simplement de grands fours de convection. Mais voici le problème : chauffer une grande quantité d’air représente une perte d’énergie inutile. De plus, cela permet aux poussières et particules présentes dans l’air de se déposer sur les wafer.
C’est pourquoi nous avons opté pour des chauffages infrarouges compatibles avec le vide. C’est bien plus logique.
Comment fonctionne réellement ce système de chauffage
En milieu vide, il n’y a pas d’air. Sans air, il n’y a pas de convection possible. On ne peut donc pas “souffler de l’air chaud” sur une pièce, puisque rien ne peut se déplacer dans cet environnement.
Nous utilisons des rayonnements infrarouges à courte longueur d’onde, car ils n’ont pas besoin d’un milieu pour se propager. Ils traversent directement le vide et atteignent directement le substrat. C’est efficace : on ne gaspille pas d’énergie à chauffer les parois de la chambre ou l’espace vide autour de la pièce. On chauffe uniquement ce qui doit être chauffé. C’est pourquoi cette méthode est devenue la préférée pour ceux qui cherchent à réduire les coûts énergétiques dans une salle propre.
Comment atteindre la température idéale
Les soudures et adhésifs sans plomb sont très exigeants en termes de température. S’il y a trop de chaleur, on risque de endommager le silicium ou de créer des défauts sur les wafer.
Nos lampes infrarouges en vide permettent de réguler rapidement la température. On a ainsi un contrôle précis sur le processus de cuisson, ce qui n’est pas possible avec des fours ordinaires. Comme l’énergie est radiative, on peut déclencher la réaction de cuisson en quelques secondes, et non en heures. C’est un vrai avantage pour la réduction de l’empreinte carbone et pour gagner du temps.
Quelques points importants à considérer
On ne peut pas simplement placer n’importe quelle lampe dans un environnement vide. Il faut utiliser des matériaux qui ne libèrent pas de gaz. Nous utilisons du quartz de haute pureté et des filaments spéciaux. Si ces matériaux commencent à libérer des gaz, cela peut endommager le vide et contaminer les wafer.
De plus, ces lampes à haute intensité deviennent très chaudes, surtout aux endroits où elles sont montées. Il ne faut pas négliger les systèmes de refroidissement. Si le système de refroidissement par eau échoue, la chaleur peut endommager les joints de la chambre. Il s’agit d’une source de chaleur très intense, donc assurez-vous que votre système de refroidissement soit capable de gérer cette pression. Ne sous-estimez pas cet aspect.