על הרצפה, חדרי ה-Aixtron MOCVD דורשים שליטה אפקטיבית בטמפרטורה, כדי שתהליך האפיטקסיה יתנהל כראוי. אם הרכיב החימום לא יפעל כראוי, החזרתיות של התהליך תיפגע. יהיו בעיות בטמפרטורה של הוופר, ומספר הפגמים יעלה. אי אפשר לחכות עד שהבעיה תיפתר.
מה באמת חשוב
אנו מייצרים רכיבי חימום של Aixtron שתואמים את התנהגות החום של החדר. הגאומטריה של הרכיבים מותאמת לאזור החימום, ואנו בוחרים חומרים שמגיבים במהירות ושומרים על ערך מתח יציב לאורך זמן. כך ניתן לשלוט באחידות הטמפרטורה ברמה של ±0.1°C לאורך כל תהליך החימום, כך שהפרופילים של תהליך החימום יישארו עקביים מלאט ללאט.
הרכיבים מיועדים לשימוש בחדרי עבודה מסוג Class 1–100, והם לא יוצרים שום חלקיקים, כך שמספר החלקיקים נשאר יציב במהלך החילופים. הרכיבים מיועדים לשימוש 24/7, ותקופת השימוש שלהם ארוכה.
למה זה חשוב בליתוגרפיה
בליתוגרפיה, ובשלבים התרמיים שקשורים אליה, הדיוק בטמפרטורה הוא הגורם החשוב ביותר לשליטה ברוחב הקווים ולמניעת פגמים. רכיבי חימום של Aixtron מאפשרים שמירה על התנאים התרמיים הרצויים, כך שניתן לשמור על עקביות בתהליך הייצור.
זמן העצירה של המכשיר פוחת, הקצב של הייצור נשמר, וצריכת האנרגיה נשארת יציבה – כיוון שהרכיבים מחממים ביעילות ושומרים על טמפרטורה יציבה. החזרתיות של התהליך חוזרת, וכמות הפגמים פוחתת.
הפרטים שמונעים בעיות
ההתקנה דורשת שמירה על תנאי ESD ושימוש במומנט הנכון בהתקנת הרכיבים. אם לא עושים זאת, ייווצרו פערים זעירים שיפגעו בשליטה בטמפרטורה. יש לבדוק שוב את סוג החיבור, המתח והמידות של הרכיבים, כדי למנוע בעיות בחיבורים.
יש לתכנן חילופי רכיבים במהלך זמני התחזוקה התכופים. כך ניתן למנוע שוק תרמי ולשמור על הציפויים של החדר.