חלק חלופי לרכיב החימום של Aixtron

על הרצפה, חדרי ה-Aixtron MOCVD דורשים שליטה אפקטיבית בטמפרטורה, כדי שתהליך האפיטקסיה יתנהל כראוי. אם הרכיב החימום לא יפעל כראוי, החזרתיות של התהליך...