שמירה על טהרת וופרי ה-MEMS במהלך תהליך הייבוש
אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם כנראה מכירים את הבעיה: כתם אבק קטן או אדי כימיקלים שעלולים להגיע לשם, יכולים להרוס את כל המוצר שלכם.
הבעיה היא שרוב רכיבי החימום בעצם מלוכלכים מאוד. כשהם מתחממים, הם עלולים להפיק חלקיקים זעירים או לשחרר חומרים אורגניים רגישים, שעלולים לפגוע במוצר שלכם. זו בעיה שעלולה לקרות בכל רגע.
לכן אנו משתמשים בנורות IR מסוג קוורץ סינתטי בעל טוהר גבוה. נורות אלו אינן גורמות לבעיות כאלו.
למה אנו משתמשים בקוורץ טהור?
אנו משתמשים בסיליקה מותכת, מכיוון שהיא עמידה מאוד. זכוכית רגילה או קוורץ זול עלולים להישבר או להתפרק כשהם מתחממים. אך סיליקה מותכת אינה עושה זאת.
היתרון הגדול הוא שקרינת ה-IR עוברת ישירות דרך שכבת הנוזל שעל הוופר. כך הלחות נאדה מהר מאוד, ומכיוון ששום דבר לא נוגע בוופר, אין צורך לדאוג לסדקים או ללכלוך על השטח.
שליטה בטמפרטורה
אנו משתמשים בקרינת IR באורך גל קצר. הקרינה פוגעת בשטח הוופר כמעט מיד.
זה מהיר מאוד. וזה חשוב, מכיוון שאם החומרים הנדרשים לייבוש לוקחים זמן רב מדי להתאדות, עלולים להיווצר כתמי מים על הוופר.
אנו משקיעים הרבה זמן בהתאמת הוואטג’ והמתח, כדי שהחום יהיה אחיד על כל שטח הוופר. חשוב לציין שאם אתם מגדילים את ההספק כדי להאיץ את תהליך הייבוש, ודאו שהמחזיק של הוופר יכול לעמוד בחום. בלעדי זאת, הוופר עלול להינזק.
עיצוב יעיל
אנו שומרים על עיצוב פשוט – ללא מארזים גדולים שעלולים לאגור אבק.
יש מעט מאוד חיבורים, כך שיש פחות דברים שעלולים להישבר. אנו גם משתמשים בחוסמים מיוחדים, כדי שאף חלקיק לא יחדור מהחיבורים החשמליים לאזור החימום.
טיפ אחרון: נורות אלו יוצרות חום רב. אנו ממליצים להשתמש במערכת קירור מיוחדת עבור קצוות הנורות. כך החיבורים לא יינזקו במהלך תהליך הייצור הארוך.