वेफरों में संदूषण की समस्या को रोकना
ईमानदारी से कहें तो, जब उच्च लोड के दौरान IR लैंप खराब हो जाता है, तो यह एक बड़ी समस्या है। यह केवल उत्पादन रुकने की समस्या ही नहीं है; बल्कि इससे वेफरों पर काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट भी गिर जाते हैं। ऐसी स्थिति में पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है, और अब आपको पूरे चैंबर की सफाई करनी ही पड़ती है। यह ऐसी समस्या है जिसे कोई भी नहीं चाहेगा।
केवल “ऊष्मा-प्रतिबिंबक” ही नहीं…
इसीलिए हम अपने एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टरों को केवल “ऊष्मा-प्रतिबिंबक” ही नहीं मानते। निश्चित रूप से, ये IR विकिरणों को वेफरों तक पहुँचाने में मदद करते हैं, लेकिन ये तो हमारी पहली रक्षा-पंक्ति भी हैं।
हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमीनियम का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि गर्म होने एवं ठंडा होने के दौरान रिफ्लेक्टरों में दरारें आना या गैस निकलना बहुत ही खतरनाक है।
हम लैंप एवं रिफ्लेक्टर के बीच की दूरी को भी कम रखते हैं… ऐसा करने से कचरा कहीं और नहीं जा पाता।
शक्ति एवं सुरक्षा का संतुलन
लैंपों को अधिकतम वाटेज पर चलाना उत्पादन हेतु अच्छा है, लेकिन यह थर्मल शॉक का कारण भी बन सकता है। किसी एक खराब लैंप के कारण पूरा उत्पादन बर्बाद न हो, इसलिए हम सुरक्षात्मक उपाय भी करते हैं।
इसे एक “सुरक्षा-जाल” ही मानें… हम लैंप एवं वेफर के बीच एक द्वितीयक क्वार्ट्ज/सफायर ट्यूब रखते हैं। यदि लैंप खराब हो जाता है, तो यह ट्यूब कचरे को रोक लेती है।
एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टर, इस पूरे ढाँचे को संभालकर लैंप को सही जगह पर रखता है… ऐसा करने से असमान ऊष्मा-वितरण की समस्या भी दूर हो जाती है।
समझौता
लेकिन इसका एक नुकसान भी है… सुरक्षात्मक ट्यूबों एवं मजबूत रिफ्लेक्टरों के कारण हीटिंग हेड का वजन बढ़ जाता है। इस अतिरिक्त वजन के कारण उत्पादन शुरू होने में थोड़ा समय लगता है… लेकिन यह तो वेफरों में संदूषण होने से बचने हेतु एक छोटी सी कीमत ही है।
ध्यान रखें: आपको अपने PID कंट्रोलरों को भी ऐसी स्थितियों के लिए समायोजित करना होगा… ऐसा करने से तापमान ठीक वैसा ही रहेगा, जैसा कि आवश्यक है।