थर्मल ड्रिफ्ट का प्रभाव चेतावनी संकेतों के रूप में नहीं दिखता; बल्कि यह “लॉट रिपोर्ट” में “यील्ड मिस” के रूप में दिखाई देता है।
वेफरों को सुखाना, फोटोरेजिस्ट को नरम/कठोर तापमान पर सेंकना, पैकेजिंग प्रक्रिया, एवं सफाई प्रक्रियाएँ – इन सभी प्रक्रियाओं में सख्त थर्मल नियंत्रण आवश्यक है। लीड-फ्री सोल्डर वेफरों के लिए ऐसा प्रीहीटर आवश्यक है जो नियमित तापमान प्रदान करे, जल्दी ही तापमान स्थिर हो जाए, एवं क्लीनरूम में बिना किसी रुकावट के काम कर सके।
प्रीहीटर की विशेषताएँ
हमने ऐसा प्रीहीटर तैयार किया है जो तेज़ एवं समान तापन प्रदान करे; वेफर पर ±0.1°C की समानता, नियमित तापमान, एवं उच्च गति से काम करने की क्षमता। यह प्रीहीटर कम कणों वाला एवं उच्च शुद्धता वाला है; इसलिए यह क्लास 1–100 क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है। यह 24/7 काम कर सकता है, एवं इसकी विश्वसनीयता ऐसी है कि इसमें कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती। फोटोरेजिस्ट सेंकने की प्रक्रिया में, तापमान स्थिर रहता है; जिससे फिल्म की मोटाई एवं चिपकने की क्षमता बनी रहती है।
व्यवहार में इसकी उपयोगिता
वेफरों को सुखाने एवं सफाई करने की प्रक्रियाओं में, यह प्रीहीटर नमी को कम करता है, एवं पुनः संदूषण होने से बचाता है। लिथोग्राफी में, यह नरम/कठोर तापमान पर सेंकने की प्रक्रियाओं में स्थिरता प्रदान करता है; जिससे तापमान के कारण वेफरों में होने वाली समस्याएँ दूर हो जाती हैं। पैकेजिंग प्रक्रिया में, यह लीड-फ्री सोल्डर को सही तापमान पर सेंकने में मदद करता है; जिससे सब्सट्रेटों पर कोई नुकसान नहीं होता। इसके परिणामस्वरूप नियमित उत्पादन, कम अपशिष्ट, एवं कम ऊर्जा खपत होती है।
योजना बनाते समय ध्यान रखने योग्य बातें
यह प्रीहीटर एकीकरण हेतु डिज़ाइन किया गया है। मानक मैकेनिकल एवं विद्युत इंटरफेसों के कारण इसे मौजूदा उपकरणों में आसानी से एकीकृत किया जा सकता है। लेकिन आपको अपनी लाइन की व्यवस्था के अनुसार इसके आकार एवं आवश्यक सुविधाओं की जाँच अवश्य करनी होगी। क्लीनरूम के लिए उपयुक्त व्यवस्था, एवं स्थानीय बिजली/ग्राउंडिंग व्यवस्था भी आवश्यक है। प्रीहीटर को अपने सब्सट्रेटों एवं कैरियरों के अनुसार ही चुनना आवश्यक है; ताकि वांछित समानता एवं उत्पादन समय प्राप्त हो सके।