सुखाने की प्रक्रिया के दौरान अपने MEMS वेफरों को स्वच्छ रखना
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा – थोड़ी सी धूल या कोई रासायनिक तत्व भी आपके सभी वेफरों को नष्ट कर सकता है।
समस्या यह है कि अधिकांश हीटिंग तत्व वास्तव में काफी गंदे होते हैं। जब ये गर्म होते हैं, तो इनसे सूक्ष्म कण निकलते हैं, या वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स (VOCs) भी निकलते हैं। यह एक बड़ी समस्या है।
इसी कारण हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का ही उपयोग करते हैं। ऐसे लैंपों से ऐसी समस्याएँ नहीं होतीं।
हम शुद्ध क्वार्ट्ज क्यों उपयोग करते हैं?
हम फ्यूज्ड सिलिका का ही उपयोग करते हैं, क्योंकि यह बहुत मजबूत होता है। सामान्य काँच या सस्ता क्वार्ट्ज गर्म होने पर टूट जाता है। लेकिन फ्यूज्ड सिलिका ऐसा नहीं करता।
सबसे अच्छी बात यह है कि IR विकिरण वेफर पर मौजूद तरल पदार्थ के माध्यम से सीधे ही जाता है। इससे नमी जल्दी ही सुख जाती है, और चूँकि वेफर को कुछ भी छूता नहीं, इसलिए आपको खरोंच या सतह पर गंदगी की चिंता करने की आवश्यकता नहीं है।
उचित तापमान प्राप्त करना
हम शॉर्टवेव IR का ही उपयोग करते हैं। यह वेफर की सतह पर तुरंत ही पहुँच जाता है।
यह बहुत ही तेज़ है… और यही बात महत्वपूर्ण है। क्योंकि यदि विलायक को सुखने में ज्यादा समय लगे, तो वेफर पर पानी के धब्बे बन जाते हैं।
हम वॉटेज एवं वोल्टेज को ठीक से समायोजित करते हैं, ताकि पूरे वेफर पर समान तापमान हो। ध्यान रखें: यदि आप तेज़ी से काम करने हेतु ऊर्जा को बढ़ा देते हैं, तो सुनिश्चित करें कि आपका सब्सट्रेट होल्डर उस तापमान को सहन कर सके। वरना वेफर विकृत हो सकता है।
सब कुछ ठीक से व्यवस्थित करना
हम डिज़ाइन को सरल रखते हैं… कोई भी ऐसा भारी घटक नहीं है जो धूल जमने का कारण बने।
कनेक्शन भी कम ही हैं… इससे टूटने वाली चीजें भी कम हो जाती हैं। हम विशेष सीलों का भी उपयोग करते हैं, ताकि विद्युत संबंधी तत्व गर्मी वाले क्षेत्र में न जा सकें।
एक अंतिम सलाह: ये लैंप बहुत गर्म हो जाते हैं… इसलिए हम लैंपों के छोरों हेतु विशेष शीतलन प्रणाली का ही उपयोग करते हैं। इससे लंबे समय तक उत्पादन करने के दौरान लैंपों के छोर नष्ट नहीं होते।