अर्धचालक उपकरणों में कार्बन एवं ओज़ोन को कम करना
यदि आपने कभी क्लीनरूम में समय बिताया है, तो आपको इसकी कठिनाइयों का पता होगा। ऐसे वातावरण में अत्यधिक सटीक तापमान आवश्यक होता है; लेकिन उपयोग में आने वाले उपकरण ही कई समस्याएँ पैदा करते हैं।
सामान्य शॉर्टवेव आईआर लैंप, 200 नैनोमीटर से कम तरंगदैर्घ्य वाली रोशनी उत्सर्जित करते हैं। समस्या यह है कि ऐसी तरंगदैर्घ्यें ऑक्सीजन के संपर्क में आकर ओज़ोन उत्पन्न करती हैं। एक स्टराइल वातावरण में ओज़ोन एक बड़ी समस्या है… यह उपकरणों को नुकसान पहुँचाता है, एवं हवा को शुद्ध करने हेतु HVAC सिस्टम को अतिरिक्त समय तक काम करना पड़ता है।
हमने इस समस्या का समाधान खोज लिया है… हम ओज़ोन-रहित क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करते हैं।
यह कैसे काम करता है?
यह तो बहुत ही सरल भौतिकी है… हम डोप्ड क्वार्ट्ज या विशेष कोटिंगों का उपयोग करके वैक्यूम अल्ट्रावायलेट विकिरण को रोक देते हैं… ऐसा करने से ओज़ोन का निर्माण ही नहीं होता।
सबसे अच्छी बात यह है कि अब आपको उन बड़े, ऊर्जा-खपत वाले ओज़ोन निष्कासन सिस्टमों पर निर्भर नहीं रहना पड़ेगा… आपकी सुविधाओं की ऊर्जा-खपत कम हो जाएगी, एवं आपके उपकरण भी लंबे समय तक काम करेंगे।
“ग्रीन फैक्ट्री” बनने हेतु…
कार्बन-न्यूट्रलिटी हासिल करना केवल बिजली कहाँ से आ रही है, इस बारे में ही नहीं है… बल्कि इसका उपयोग कैसे किया जा रहा है, इस बारे में भी है।
पारंपरिक कंवेक्शन ओवनों में पूरे कमरे को गर्म रखने हेतु बहुत ऊर्जा खर्च होती है… लेकिन आईआर लैंपों में ऐसा नहीं होता… ये लैंप सीधे वेफर/सब्सट्रेट पर ही ऊष्मा देते हैं।
लेकिन सबसे अच्छी बात यह है कि आईआर लैंप कुछ ही सेकंड में गर्म हो जाते हैं… इसलिए उपकरणों को बदलते समय भी बहुत ऊर्जा खर्च नहीं होती… यह तो बहुत ही कुशल तरीका है… एवं आपके बिजली-बिल पर भी अच्छा प्रभाव पड़ता है।
कुछ बातें ध्यान में रखें…
यह कोई जादुई उपाय नहीं है… कुछ बातों का ध्यान रखना आवश्यक है…
जब आप VUV विकिरण को रोक देते हैं, तो स्पेक्ट्रल वितरण में थोड़ा परिवर्तन हो जाता है… आपके द्वारा उपयोग किए जाने वाली सामग्री के आधार पर, ऊर्जा-अवशोषण दर में भी थोड़ा परिवर्तन हो सकता है… इसलिए आपको अपने उपकरणों के तापमान-प्रोफाइल की फिर से जाँच करनी होगी।
इसके अलावा, यदि आप उच्च-वॉटेज वाले लैंपों का उपयोग कर रहे हैं, तो अपने बिजली-स्रोतों पर ध्यान दें… ऐसे लैंप वोल्टेज-उतार-चढ़ाव के प्रति संवेदनशील होते हैं… यदि बिजली की गुणवत्ता खराब है, तो लैंपों के फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाएंगे।
सबसे अच्छा तरीका यह है कि लैंप की इम्पीडेंस को आपके कंट्रोलर के अनुरूप ही रखें… ऐसा करने से आपका उपकरण लंबे समय तक सुचारू रूप से काम करेगा।