टूटी हुई लैंपों के कारण अपने वेफरों को बर्बाद होने से बचाएं।
उच्च-मात्रा में चिप निर्माण होने वाले कारखानों में, टूटी हुई इन्फ्रारेड लैंपें वाकई एक भयावह स्थिति पैदा करती हैं। जब ऐसी क्वार्ट्ज ट्यूबें टूट जाती हैं, तो वे न केवल गर्मी पैदा करना बंद कर देती हैं, बल्कि वेफरों पर छोटे-छोटे काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ भी गिर जाते हैं। ऐसी स्थिति में पूरा सिलिकॉन बैच ही दूषित हो जाता है। यह बहुत ही खराब स्थिति है… लेकिन इसे आसानी से टाला जा सकता है।
आखिर ऐसी लैंपें क्यों टूट जाती हैं?
उच्च-वाटेज वाली लैंपें बहुत ही कठिन परिस्थितियों में काम करती हैं। वे लगातार अत्यधिक गर्मी एवं ऊर्जा के दबाव में रहती हैं… जिससे क्वार्ट्ज ट्यूबें टूट जाती हैं। ऐसी स्थिति में लैंप का फिलामेंट भी जल जाता है। यदि आप ओपन सिस्टम में काम कर रहे हैं, तो ये सभी कचरे आपके वेफरों पर ही गिर जाते हैं।
एक सरल समाधान: सुरक्षात्मक पैकेजिंग
हम इस समस्या का समाधान लैंप एवं वेफर के बीच एक भौतिक आवरण लगाकर करते हैं। हमारा यह सुरक्षात्मक पैकेजिंग उच्च-शुद्धता वाला, गर्मी-प्रतिरोधी आवरण है… जो लैंप को घेरे रखता है। यदि लैंप टूट जाता है, तो यह आवरण सभी कचरों को रोक लेता है… जिससे वेफर साफ ही रहते हैं।
हम सामग्री का भी ध्यान रखते हैं… हम कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का ही उपयोग करते हैं… ताकि क्लीनरूम में कोई अजीब रासायनिक पदार्थ न फैले। यह आवरण इतना अच्छी तरह से फिट होता है कि कण बाहर न जा सकें… लेकिन फिर भी क्वार्ट्ज ट्यूब को गर्म होने के लिए पर्याप्त जगह मिल जाती है।
एक संतुलन…
अब, एक आवरण लगाने से लैंप एवं वेफर के बीच एक अतिरिक्त परत बन जाती है… इस कारण इन्फ्रारेड ऊर्जा की दक्षता में थोड़ी कमी आ जाती है… लक्षित तापमान तक पहुँचने में कुछ सेकंड अधिक समय लग सकता है… लेकिन एक टूटी हुई लैंप के कारण पूरे वेफरों को बर्बाद करने की तुलना में थोड़ा अधिक समय इंतजार करना बेहतर है।
इसे सुचारू रूप से चलाने हेतु कुछ सुझाव: अपनी पावर सप्लाई को पैकेज्ड एसेंबली की इम्पीडेंस के अनुरूप सेट करें… ताकि आवरण के किनारे अत्यधिक गर्म न हों। साथ ही, हाउसिंग के चारों ओर हवा का प्रवाह जारी रखें… ताकि गर्मी जमा न हो।
बस, इतना ही!