क्यों IR हीटिंग, फोर्स्ड एयर की तुलना में बेहतर है?
यदि आपने सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के कार्यों में समय बिताया है, तो आपको इंतजार करने की पीड़ा का अनुभव होगा।
लंबे समय तक हमने फोर्स्ड एयर का ही उपयोग किया – यानी गर्म हवा का उपयोग करके काम पूरा किया। लेकिन इसमें एक समस्या है… हम हवा को गर्म करते हैं, और फिर उस हवा को ही वेफर को गर्म करना होता है। यह ऐसा ही है, जैसे कि पहले ड्राइववे को गर्म करके ही घर को गर्म करने की कोशिश करना। इसमें बहुत देर लगती है।
IR हीटिंग इस समस्या को दूर करती है… इसमें कोई मध्यस्थ नहीं है। हवा का इंतजार करने के बजाय, हम विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचाते हैं।
समय हमेशा महत्वपूर्ण है…
इस व्यवसाय में, समय ही वह चीज है जिसे आप अधिक नहीं प्राप्त कर सकते। जब हम फोर्स्ड एयर का उपयोग करते हैं, तो हमें लंबे समय तक इंतजार करना पड़ता है… क्योंकि हम थर्मल शॉक से डरते हैं। यह बहुत धीमी प्रक्रिया है।
IR लैंपों के द्वारा तो लक्षित तापमान को कुछ ही सेकंडों में प्राप्त किया जा सकता है।
नियंत्रण भी बेहतर है…
सबसे अच्छी बात यह है कि इसमें नियंत्रण भी बेहतर है। हम उच्च-सटीकता वाले IR सेंसरों का उपयोग करके वेफर की सतह पर नज़र रखते हैं… यदि तापमान में कोई बदलाव होता है, तो कंट्रोलर तुरंत ही ऊर्जा को नियंत्रित कर देता है।
फोर्स्ड एयर की तुलना में, हवा में “थर्मल इनर्शिया” बहुत अधिक है… जब हवा बहुत गर्म हो जाती है, तो उसे रोकना असंभव है। लेकिन IR के द्वारा हम तेज़ी से तापमान नियंत्रित कर सकते हैं।
वास्तविकता…
मैं यह नहीं कह रहा हूँ कि IR ही सबसे अच्छा है… इसमें भी कुछ कमियाँ हैं।
सबसे बड़ी समस्या यह है कि यदि वेफर का आकार अजीब है, या कोई फिक्सचर प्रकाश को रोक रहा है, तो कुछ जगहों पर ठंडा ही रह जाता है। इसलिए लैंपों की व्यवस्था को बहुत ही सावधानी से करना होता है… ताकि सब कुछ समान रूप से गर्म हो सके।
और चूँकि ऊर्जा घनत्व बहुत अधिक है, इसलिए कूलिंग सिस्टम पर भी ध्यान देना आवश्यक है… वरना बाकी उपकरण भी खराब हो जाएँगे।
लेकिन ईमानदारी से कहें तो, यह तो बहुत ही अच्छा विकल्प है… ज्यादातर उच्च-मात्रा वाली फैक्ट्रियों ने पहले ही इसका उपयोग शुरू कर दिया है। जब 20 मिनट की प्रक्रिया को केवल 20 सेकंड में ही पूरा किया जा सकता है, तो फिर पीछे मुड़कर देखने की कोई आवश्यकता ही नहीं है।