वेफर टूलिंग में IR लैंपों की सुरक्षा
ईमानदारी से कहें तो, वेफर सफाई उपकरणों में IR हीटिंग लैंपों का उपयोग करना तो आग से खेलने जैसा ही है। जब आप ज्वलनशील या विस्फोटक रसायनों के वातावरण में होते हैं, तो एक छोटी सी चिंगारी भी पूरी स्थिति को विनाशकारी बना सकती है।
इसीलिए हम ऐसे लैंपों को सीधे उपकरणों में नहीं लगाते; बल्कि उन्हें एक एर्मेटिक सील में लपेट देते हैं।
चिंगारियों को रोकना
सामान्य IR लैंप, रासायनिक वातावरण में काम करने के लिए उपयुक्त नहीं होते। इस समस्या को दूर करने हेतु हम बहु-स्तरीय सीलिंग प्रक्रिया का उपयोग करते हैं, ताकि विद्युत टर्मिनल रासायनिक पदार्थों से दूर रहें।
हम लैंप को उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज स्लीव में रखते हैं, फिर उसे औद्योगिक सिरेमिक्स एवं रेजिनों से बंद कर देते हैं। ऐसा करने से रासायनिक पदार्थ लैंप के वायरिंग को नुकसान नहीं पहुँचा सकते।
असली सुरक्षा तो एंड-कैप्स में ही है। यदि ये सील टूट जाते हैं, तो समस्या हो जाती है। ऐसी स्थिति में रसायन अंदर घुस जाते हैं, लैंप नष्ट हो जाता है, या आग लग सकती है। हम इस बात को लेकर कोई जोखिम नहीं लेते – हम हर सील का परीक्षण करते हैं, ताकि ये वेफर सफाई में उपयोग होने वाले खतरनाक रसायनों का सामना कर सकें।
ऊष्मा संबंधी समस्याएँ
अब, ऐसी सुरक्षात्मक परतों के कारण ऊष्मा वेफर तक पहुँचने में देरी हो जाती है। ऐसी स्थिति में प्रक्रिया का तापमान भी धीरे-धीरे ही बढ़ता है। यह तो सुरक्षा हेतु ही है… लेकिन इसके लिए हम वॉटेज को ठीक से समायोजित करते हैं, ताकि वेफर न गले।
सेटअप के दौरान सावधान रहें
वायरिंग के समय, कनेक्शन बिंदुओं पर विशेष ध्यान दें। हम सोने या निकल से बने कॉन्टैक्ट्स का उपयोग करते हैं… क्योंकि उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में ऑक्सीकरण एक बड़ी समस्या है। ऐसा करने से कनेक्शन साफ रहता है, एवं आर्किंग की समस्या भी नहीं होती।
टर्मिनलों पर ध्यान दें… यदि उनमें कोई रंग-परिवर्तन दिखे, तो तुरंत लैंप को बाहर निकाल दें। यह तो सील टूटने का संकेत है… ऐसा जोखिम तो बिल्कुल भी नहीं लिया जा सकता।
इसके अलावा, अपने कूलिंग फैनों की भी जाँच करें… यदि वे सही तरीके से काम न करें, तो रेजिन कमजोर हो जाएगा… और फिर सब कुछ फिर से शुरू हो जाएगा।