Mencegah Wafer MEMS Kotor Selama Proses Pengeringan
Jika Anda berada di ruang bersih kelas 100, Anda pasti tahu betapa berbahayanya situasi ini: sedikit sekali debu atau uap kimia pun sudah cukup untuk merusak seluruh batch produk Anda.
Masalahnya adalah, sebagian besar elemen pemanas sebenarnya sangat kotor. Ketika dipanaskan, elemen-elemen tersebut cenderung mengeluarkan serpihan-serpihan mikroskopis atau senyawa organik volatil yang dapat merusak permukaan wafer. Ini merupakan bencana yang siap terjadi.
Itulah mengapa kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Lampu-lampu ini tidak menyebabkan masalah seperti itu.
Mengapa Kami Menggunakan Kuarsa Murni
Kami menggunakan silika fusi karena bahan ini sangat tahan terhadap panas. Kaca biasa atau kuarsa murahan cenderung hancur saat dipanaskan. Namun, kuarsa fusi tidak demikian.
Yang lebih baik lagi, radiasi IR dapat menembus lapisan cairan yang ada di permukaan wafer. Hal ini mempercepat proses penguapan kelembapan. Karena tidak ada benda apa pun yang menyentuh permukaan wafer, Anda tidak perlu khawatir akan adanya goresan atau kotoran di permukaannya.
Memastikan Suhu yang Tepat
Kami menggunakan gelombang inframerah berfrekuensi rendah. Gelombang ini langsung mencapai permukaan wafer secara instan. Prosesnya sangat cepat. Hal ini penting, karena jika pelarut membutuhkan waktu lama untuk menguap, maka akan muncul noda air di permukaan wafer.
Kami meluangkan banyak waktu untuk menyesuaikan daya dan tegangan agar suhu panasnya merata di seluruh permukaan wafer. Perlu diingat bahwa jika Anda meningkatkan daya untuk mempercepat prosesnya, pastikan penyangga wafer mampu menahan panas tersebut. Jika tidak, wafer akan rusak.
Desain yang Efisien
Kami merancang perangkat ini dengan desain yang sederhana. Tidak ada bagian-bagian yang berlebihan yang bisa menjadi tempat penumpukan debu. Koneksinya juga minimal, sehingga minim risiko kerusakan. Kami juga menggunakan bahan penghalang khusus agar partikel-partikel tidak masuk ke area pemanasan.
Satu tips terakhir: lampu-lampu ini menghasilkan panas yang tinggi. Kami menyarankan penggunaan sistem pendingin khusus untuk bagian ujung lampu tersebut. Hal ini akan mencegah kerusakan pada socket lampu selama proses produksi berlangsung.