Mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Se gestite un ambiente di classe 100, sicuramente conoscete i problemi legati alla pulizia dello stesso. Un piccolissimo granello di polvere o una traccia di gas possono rovinare l’intera produzione di wafer.
Il vero problema? Gli elementi riscaldanti. La maggior parte di essi non è progettata per funzionare in tali condizioni: iniziano a rilasciare microparticelle o si deteriorano a causa del calore. Di conseguenza, la vostra “sala pulita” non è più tale.
Abbiamo trovato un modo per evitare questo problema: combiniamo lampade a raggi infrarossi in quarzo ad alta purezza con cavi speciali in Teflon. È semplice, ma funziona.
Il segreto sta nel quarzo
Non utilizziamo vetro standard, ma quarzo sintetico ad alta purezza per i contenitori delle lampade. Perché? Perché impedisce ai ioni metallici di entrare nella zona di produzione. Inoltre, il quarzo è molto resistente: permette di regolare rapidamente la temperatura senza che i tubi si rompano. Inoltre, emette radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda che agiscono direttamente sul substrato. Non è necessario aspettare che il calore agisca su tutto il materiale: il processo è veloce.
Gestire gli elementi “invisibili”
Poi c’è il problema dei cavi. La maggior parte delle persone utilizza PVC o silicone, ma questi materiali diventano pericolosi vicino alle fonti di calore: si sciolgono e rilasciano composti organici volatili. In pratica, rilasciano sostanze chimiche sui wafer.
Ecco perché utilizziamo PTFE (Teflon): rimane chimicamente stabile anche quando le temperature sono elevate. Nessun rilascio di sostanze chimiche, nessuna contaminazione.
Inoltre, poiché queste lampade possono essere montate al posto dei tradizionali elementi riscaldanti, non è necessario modificare l’intera struttura per poterle utilizzare.
Alcuni consigli utili
Queste lampade a raggi infrarossi producono un calore elevato. È utile per accelerare i processi di produzione, ma bisogna fare attenzione: se la distanza tra la lampada e il substrato è troppo piccola, si creano zone troppo calde. È necessario verificare attentamente i controller PID e assicurarsi che i ventilatori di raffreddamento siano sufficientemente potenti per evitare che i tubi in Teflon si surriscaldino.
Un ultimo consiglio: tenete i cavi lontani dai tubi in quarzo. Se i cavi entrano in contatto con il quarzo, si bruciano. Basta mantenere la giusta distanza e assicurarsi che i cavi siano protetti correttamente, così avrete sempre una produzione stabile e pulita.