ウェーハ加熱の安全距離

IRウエハ加熱における適切な距離の設定 半導体製造工場の炭素排出量を減らしたいのであれば、抵抗加熱に過度に依存することは避けなければなりません。短波長赤外線が最適な解です。しかし問題は、このシステムがうまく機能するかどうかは、「安全距離」、つまりランプとウエハの間のわずかな隙間にかかっているという...