認定された赤外線照射装置：グリーン半導体製造の真の強み 私たちは、ファブ内で使用できるように認定された赤外線照射装置を製造しています。これらの装置は、半導体製造に必要な高い熱出力に対応できるように設計されており、コスト削減を図りつつも、炭素排出量を削減するのに役立ちます。 このシステムは短波長の赤...

ウェーハ製造工程においては、わずか0.2℃の温度変動であっても、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。そして、ウェーハ硬化用ランプに使われている反射板というのは、単なる部品ではありません。それは、各チップに与えられる熱量を積極的に調整する役割を果たします。均一性が保てないと、露光のムラや...