クリーンルーム装置のアップグレードが工場で行われている
熱を失わずにファブを安全に保つ方法 半導体製造工場で化学洗浄処理を行っている方なら、その過酷さはご存知でしょう。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の蒸気があふれています。まさに危険な環境です。 通常の赤外線ランプでは、このような環境では使えません。わずかな火花や石英管のひび割れだけで大惨事につながります...
半導体クリーンルーム用カート型ヒーター
もう、トロリーが温まるのを待つのはやめましょう:赤外線加熱と熱風加熱の違い
ディーププロセッシングにおいて、ウェーハを異なる工程間で移動させる際には、熱安定性が最も重要です。しかし、依然として熱風を使ってトロリーを温めている場合、多くの時間を無駄にしている可能性があります。
最近では、多くの工場で...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
はじめに
私たちがこのクリーンルーム用の赤外線ランプを開発したのには、単純な理由があります。それは、作業場を火災の危険にさらすことなく、必要な場所に適切な熱を供給するためです。
ここで言うのは、揮発性の高い清掃薬品を扱う場所のことです。そうした場所では強力な熱が必要ですが、同時に火花が飛んでしまう...