半導体加熱における炭素排出量とオゾンの削減 クリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさをよく知っているでしょう。極めて高精度な温度制御が求められますが、使用するツール自体が問題を引き起こすこともあります。 一般的な短波長のIRランプは、200nm未満の波長の光を放出してしまう傾向がありま...

ライン上では、熱ドリフトは警告灯として現れることはありません。代わりに、ロット報告書上で歩留まりの低下として表れます。 ウェーハの乾燥処理、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、パッケージング時の硬化処理、清掃時の乾燥処理——これらすべては、厳格な温度管理の下で行われます。無鉛はんだを使用す...