FOUP フロントオープニングユニファイドポッド ドライヤー

リソグラフィフロアでは、シンクから戻ってくる湿ったFOUPは、視覚的に確認する前に問題を感じ取れます。残留水分はソフトベイクのドリフト、ライン幅の変動、歩留まりの低下を引き起こします。FOUPはトラックに投入される前に完全に乾燥している必要があり、その乾燥状態はロットごとに安定して再現されなければ...