はじめに 現実を見ましょう。もしあなたが包装や試験のための設備を運営しているのであれば、稼働時間こそが最も重要だということをご存知でしょう。ラインが停止している1分間ごとに、利益が失われていくのです。 ASMLのリソグラフィーラインでは、安定した熱が必要です。選んだランプの性能は、事業の収益に大き...

リソグラフィーの工程において、ベイク温度が0.5℃だけ変動しても、それは「わずかな偏差」とは言えません。これは製品の歩留まりに悪影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクによって、線幅の制御やスカムマージン、残留する溶剤量が決定されます。ヒーターバルブの性能が低下し始めると、すぐに問題が現れます。...