空気が暖まるのを待つのはやめよう：バイオセンサーにおける赤外線と熱風の違い バイオセンサーの製造に携わったことがある人なら、熱硬化処理や乾燥工程の面倒さを知っているでしょう。従来の方法では、熱風を利用しています。これは単純な対流現象で、空気を加熱し、その空気が基板を温めるという仕組みです。 しかし...

装置を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 バイオセンサーの製造に携わったことがある方なら、熱管理の難しさをご存知でしょう。一般的なIRランプは、基本的には電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されます。 問題は、そのエネルギーのほとんどが基板に届かないという点です。代わりに、機...

なぜ、バイオセンサーやチップの製造にはIR硬化技術が使われるのか？ バイオセンサーを作る際、熱処理は常に厄介な問題です。接着剤や機能層を完璧に硬化させる必要がありますが、温度制御を間違えると、基板全体が損傷する危険があります。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。部品周辺の空気...

バイオセンサーを清潔に保つために（そして、正気を保つために） もし100クラスのクリーンルームで働いたことがあるなら、その厳しさはよくわかるでしょう。目に見えないほど微小なほこりの粒子でも、それがあるだけで、作られたセンサー全体が無駄になってしまいます。本当にイライラしますよね。 だからこそ、私た...

化学的に活性な環境でバイオセンサーを加熱する際の安全対策 もしバイオセンサーを製造しているのであれば、硬化や乾燥のために正確な温度が必要だということはご存知でしょう。しかし、その作業が洗浄槽や揮発性溶剤のすぐ近くで行われる場合、通常のIRランプはまるで時限爆弾のようなものです。ちょっとした火花や高...

CNTを清掃する際の安全性の確保 カーボンナノチューブを扱うとき、化学的な清掃を行う際に適切な温度を維持することが何よりも重要です。しかし問題は、もし可燃性や爆発性のある蒸気を扱っている場合、通常の赤外線ランプはまさに時限爆弾のようなものです。わずかな火花やクォーツ表面の高温部分だけで、瞬時に火災...

清潔を保つ：水素センサー用の加熱装置 水素センサーを製造する際、わずかなほこりでさえも問題となります。それは単なる迷惑どころか、センサーの故障の原因にもなり得ます。クラス100のクリーンルームで作業している場合、加熱要素から粒子やガスが発生し、作業場に散らばることは絶対に避けたいのです。そのため、...

なぜ、私たちはランプチューブを甘く見ないのか？ ご存知の通り、耐圧試験や絶縁抵抗試験に合格しない限り、一滴のランプチューブも出荷しません。これは絶対です。 製造現場では、わずかな電気漏れでも大きな問題になります。単にヒューズが切れるだけでは済みません。ワッフル状の部品全体が廃棄されたり、家1軒分も...

ファブフロアにおけるフォトレジストのベイクは、便利さのためではありません。それは、再現可能なパターンとスクラップとの境界線です。ハロゲンやNIRランプがずれると、ソフトベイクの均一性が崩れ、CD制御が不安定になります。リワークを行っているだけでなく、ウエハーを失い、ロットを逃し、プロセスを実行する...