なぜ金メッキの反射板が重要なのか シリコンウェーハを加熱する際、無駄になるエネルギーは、まさに無駄に消えてしまうお金と同じです。 一般的な反射板は、ある程度エネルギーを漏らしてしまいます。多くの熱が装置の筐体に流れ込んでしまい、それは無駄遣いになります。だからこそ、私たちは金を使用するのです。金は...

ウェーハ製造工程においては、わずか0.2℃の温度変動であっても、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。そして、ウェーハ硬化用ランプに使われている反射板というのは、単なる部品ではありません。それは、各チップに与えられる熱量を積極的に調整する役割を果たします。均一性が保てないと、露光のムラや...