オゾンフリー赤外線ランプ

半導体加熱における炭素排出量とオゾンの削減 クリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさをよく知っているでしょう。極めて高精度な温度制御が求められますが、使用するツール自体が問題を引き起こすこともあります。 一般的な短波長のIRランプは、200nm未満の波長の光を放出してしまう傾向がありま...