洗浄後ウェーハ赤外線ヒーター

ファブの現場では、水洗い後に傷が残ったウェーハや、適切に加熱処理されていないフォトレジスト層、または均一に硬化していない封止剤といった問題があると、単に処理時間だけが損なわれるだけでなく、ウェーハ自体も破損してしまいます。そのため、赤外線加熱装置は予測可能でなければならず、厳格な温度制御が求められ...