半導体ヒーター用テフロンワイヤー

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしクラス100の環境を維持しているのであれば、その苦労はご存知でしょう。わずかなほこりやガスの粒子があるだけで、作成中のウェーハ全体が台無しになってしまいます。 最も問題となるのは、加熱素子です。ほとんどの加熱素子はこのような環境には適...