もう、故障したランプによってウェーハの歩留まりが低下することは許しましょう。 大量生産を行う半導体工場において、赤外線ランプが故障するのは本当に最悪の事態です。 その石英管が壊れると、熱の供給だけでなく、細かいガラスの破片や化学物質もウェーハに付着してしまいます。一度でも故障すれば、一括でシリコン...

なぜファブでは赤外線加熱が強制送風より優れているのか 半導体製造に携わったことがある人なら、待つという苦痛を知っているはずです。 長年にわたり、私たちは強制送風に頼ってきました。つまり、熱い空気を送って作業を進めるわけです。しかし、これには問題があります。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェー...

清潔を保つ：水素センサー用の加熱装置 水素センサーを製造する際、わずかなほこりでさえも問題となります。それは単なる迷惑どころか、センサーの故障の原因にもなり得ます。クラス100のクリーンルームで作業している場合、加熱要素から粒子やガスが発生し、作業場に散らばることは絶対に避けたいのです。そのため、...

ウェーハ処理装置内でのIRランプの安全な取り扱いについて 正直に言うと、IR加熱ランプをウェーハ洗浄装置の中に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性のある化学物質や、さらに悪いことに爆発性のある化学物質が周囲にある状態では、わずかな火花や絶縁体の破損だけで、大惨事につながり得ます。 そ...

乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームを使用しているのであれば、その悩みはよくご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや化学物質の蒸気があっても、そのロット全体が台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子が実際にはかなり汚れているというこ...