キヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブ

リソグラフィーの工程において、ベイク温度が0.5℃だけ変動しても、それは「わずかな偏差」とは言えません。これは製品の歩留まりに悪影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクによって、線幅の制御やスカムマージン、残留する溶剤量が決定されます。ヒーターバルブの性能が低下し始めると、すぐに問題が現れます。...