ファブIRランプ用クォーツスリーブ

ファブフロアでは、ソフトベイクおよびハードベイクにおいて温度変動は許されない。ウェーハ全体で2℃のホットスポットが発生すると、ライン幅の偏差が生じてロット全体が廃棄される可能性がある。そこで、ファブ用IRランプのクォーツスリーブを開発し、熱予算の不確実性を排除した。 内部で重要なポイント スリーブ...