はじめに 現実を見ましょう。もしあなたが包装や試験のための設備を運営しているのであれば、稼働時間こそが最も重要だということをご存知でしょう。ラインが停止している1分間ごとに、利益が失われていくのです。 ASMLのリソグラフィーラインでは、安定した熱が必要です。選んだランプの性能は、事業の収益に大き...

床に設置されているAixtronのMOCVDチャンバーでは、エピタキシャル成長を所定の条件で維持するために、正確な温度制御が不可欠です。ヒーター要素の性能が低下すると、再現性が悪くなります。設定値が変動したり、ウェーハの温度が均一でなくなったり、欠陥の数が増えてしまいます。このような問題を解決する...