半導体ヒーター用熱電対

ウェハフロア上で、温度コントローラは120.0℃を示している。ウェハはホットプレート上に置かれ、フォトレジストのプロファイルを設定するソフトベイクを待っている。しかし、コントローラの表示はあくまで「約束」にすぎない。ヒーターが実際にウェハ面で供給している温度を測定する熱電対がなければ、その約束は推...