空気が暖まるのを待つのはやめよう：バイオセンサーにおける赤外線と熱風の違い バイオセンサーの製造に携わったことがある人なら、熱硬化処理や乾燥工程の面倒さを知っているでしょう。従来の方法では、熱風を利用しています。これは単純な対流現象で、空気を加熱し、その空気が基板を温めるという仕組みです。 しかし...

装置を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 バイオセンサーの製造に携わったことがある方なら、熱管理の難しさをご存知でしょう。一般的なIRランプは、基本的には電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されます。 問題は、そのエネルギーのほとんどが基板に届かないという点です。代わりに、機...

なぜ、バイオセンサーやチップの製造にはIR硬化技術が使われるのか？ バイオセンサーを作る際、熱処理は常に厄介な問題です。接着剤や機能層を完璧に硬化させる必要がありますが、温度制御を間違えると、基板全体が損傷する危険があります。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。部品周辺の空気...

バイオセンサーを清潔に保つために（そして、正気を保つために） もし100クラスのクリーンルームで働いたことがあるなら、その厳しさはよくわかるでしょう。目に見えないほど微小なほこりの粒子でも、それがあるだけで、作られたセンサー全体が無駄になってしまいます。本当にイライラしますよね。 だからこそ、私た...

スマートファブで適切な温度管理を実現するには もしIndustry 4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、温度管理というのは単に「温度を上げる」というだけではないことがわかるでしょう。それはデータに基づいた精確な制御が必要です。だからこそ、私たちは金メッキ処理が施されたツインチューブ...

金コーティングされた赤外線ランプによるエネルギーの無駄削減 半導体製造工場を運営している方なら、生産速度を落とすことなく「グリーン」な目標を達成しようとする苦労はご存知でしょう。エネルギーの無駄が最も多く発生するのは、加熱や冷却の過程です。そこで役立つのが、金コーティングされた短波長赤外線ランプで...

化学的に活性な環境でバイオセンサーを加熱する際の安全対策 もしバイオセンサーを製造しているのであれば、硬化や乾燥のために正確な温度が必要だということはご存知でしょう。しかし、その作業が洗浄槽や揮発性溶剤のすぐ近くで行われる場合、通常のIRランプはまるで時限爆弾のようなものです。ちょっとした火花や高...

なぜファブラボのランプにはクォーツシールドが必要なのか？ 現代のファブラボで作業を行う際、単に「物を加熱する」というだけではありません。実際には、温度コントロールという非常に重要な課題に取り組んでいるのです。 もし私たちのIRシステムを見てみると、ランプの正面にクォーツガラス製のシールドがあるのが...

半導体製造装置を「オーブン」に変えてしまうのはやめましょう。 もし半導体洗浄装置の周りで作業したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。一般的なIRヒーターは、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。これでは整理整頓が難しく、装置の壁面が余分な熱を吸収してしまい、装置の表面に過熱部分ができてし...

半導体加熱における炭素排出量とオゾンの削減 クリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさをよく知っているでしょう。極めて高精度な温度制御が求められますが、使用するツール自体が問題を引き起こすこともあります。 一般的な短波長のIRランプは、200nm未満の波長の光を放出してしまう傾向がありま...

ウェーハの汚染という悪夢を止めるには 正直に言って、高負荷運転中にIRランプが壊れてしまうと、それは大惨事です。停止時間だけが問題なわけではありません。ウェーハの上にはガラスの破片やタングステンフィラメントが飛び散ります。一瞬でそのロットのウェーハは廃棄処分になり、チャンバー全体を徹底的に清掃する...

なぜ、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプの絶縁性能にこだわるのか？ 炭素繊維製の赤外線ランプは、過酷な状況で使用されます。常に強い熱や大きな電流にさらされているのです。もしこうしたランプを高価な産業用機器に接続するなら、そのリスクは明らかです。わずかな絶縁不良があれば、ブレーカーが作動したり、最悪の...

はじめに 私たちがこのクリーンルーム用の赤外線ランプを開発したのには、単純な理由があります。それは、作業場を火災の危険にさらすことなく、必要な場所に適切な熱を供給するためです。 ここで言うのは、揮発性の高い清掃薬品を扱う場所のことです。そうした場所では強力な熱が必要ですが、同時に火花が飛んでしまう...

クラス100のクリーンルーム用ヒーターの選定方法 クラス100のクリーンルームで加熱を行う際には、適当なヒーターを使ってはいけません。空気が非常に清純であるため、わずかなほこりやガスの混入だけでもすべてを台無しにしてしまいます。 そこで私たちは、UHP（超純度）クォーツ赤外線ランプを開発しました。...

認定された赤外線照射装置：グリーン半導体製造の真の強み 私たちは、ファブ内で使用できるように認定された赤外線照射装置を製造しています。これらの装置は、半導体製造に必要な高い熱出力に対応できるように設計されており、コスト削減を図りつつも、炭素排出量を削減するのに役立ちます。 このシステムは短波長の赤...

はじめに 現実を見ましょう。もしあなたが包装や試験のための設備を運営しているのであれば、稼働時間こそが最も重要だということをご存知でしょう。ラインが停止している1分間ごとに、利益が失われていくのです。 ASMLのリソグラフィーラインでは、安定した熱が必要です。選んだランプの性能は、事業の収益に大き...

ウェーハ製造工程においては、わずか0.2℃の温度変動であっても、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。そして、ウェーハ硬化用ランプに使われている反射板というのは、単なる部品ではありません。それは、各チップに与えられる熱量を積極的に調整する役割を果たします。均一性が保てないと、露光のムラや...

300mmラインでは、フォトレジストの焼成中に15分間だけでも温度が変動すれば、そのロット全体がダメになってしまいます。だからこそ、私たちはリソグラフィーベイ用に超純水を加熱するための特殊なランプを開発したのです。ここでは、温度の均一性や稼働時間が非常に重要であり、それらが製品の歩留まりを決定しま...

リソグラフィ工程において、ソフトベイクやハードベイクというのは、単に「フォトレジストを硬化させる」という単純な工程ではありません。これらの工程は、回路の寸法精度を決定する重要な要素です。ウェーハの温度が0.3℃だけ変動しても、線幅が規格外になり、結果として全ての製品が廃棄されてしまいます。そこで、...

ファブフロアでは、7×24の連続稼働においてドリフトは許されない。ランプが一度でも不安定になれば、ソフトベイクの条件がずれ、CD均一性に影響が出る。そうなると、たちまちロットは隔離検査対象となる。このRTPランプは、そのリスクを排除するために設計された。 技術的に重要な点： 本装置は封止された石英...

ライン上におけるタッチパネルのボンディング工程では、熱予算の許容範囲が非常に厳しくなります。最高温度がわずかにずれたり、ガラス積層体に冷却スポットが発生すると、接着剤内に空洞が生じます。これらは微小な気泡で検査をすり抜け、現場で問題を引き起こします。リソグラフィ駆動の生産ラインでは、この同じランプ...

ファブフロアでは、ソフトベイクおよびハードベイクにおいて温度変動は許されない。ウェーハ全体で2℃のホットスポットが発生すると、ライン幅の偏差が生じてロット全体が廃棄される可能性がある。そこで、ファブ用IRランプのクォーツスリーブを開発し、熱予算の不確実性を排除した。 内部で重要なポイント スリーブ...