IRランプ用アルミニウム反射板

ウェーハの汚染という悪夢を止めるには 正直に言って、高負荷運転中にIRランプが壊れてしまうと、それは大惨事です。停止時間だけが問題なわけではありません。ウェーハの上にはガラスの破片やタングステンフィラメントが飛び散ります。一瞬でそのロットのウェーハは廃棄処分になり、チャンバー全体を徹底的に清掃する...