スマートセンサーパッケージング インフラーアレッド

もう、故障したランプによってウェーハの歩留まりが低下することは許しましょう。 大量生産を行う半導体工場において、赤外線ランプが故障するのは本当に最悪の事態です。 その石英管が壊れると、熱の供給だけでなく、細かいガラスの破片や化学物質もウェーハに付着してしまいます。一度でも故障すれば、一括でシリコン...