ファブ用最高評価のRTPランプ

ファブフロアでは、7×24の連続稼働においてドリフトは許されない。ランプが一度でも不安定になれば、ソフトベイクの条件がずれ、CD均一性に影響が出る。そうなると、たちまちロットは隔離検査対象となる。このRTPランプは、そのリスクを排除するために設計された。 技術的に重要な点： 本装置は封止された石英...