アイクストロン・ヒーター素子の交換用部品

床に設置されているAixtronのMOCVDチャンバーでは、エピタキシャル成長を所定の条件で維持するために、正確な温度制御が不可欠です。ヒーター要素の性能が低下すると、再現性が悪くなります。設定値が変動したり、ウェーハの温度が均一でなくなったり、欠陥の数が増えてしまいます。このような問題を解決する...