ウェーハ処理装置用の温度センサー

ウェーハ処理装置内でのIRランプの安全な取り扱いについて 正直に言うと、IR加熱ランプをウェーハ洗浄装置の中に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性のある化学物質や、さらに悪いことに爆発性のある化学物質が周囲にある状態では、わずかな火花や絶縁体の破損だけで、大惨事につながり得ます。 そ...