なぜ、すべてのウェーハヒーターに対してストレステストを行うのか？ 半導体の世界では、わずかな電気漏れがあっただけで、一括して生産されたシリコンが廃棄されてしまいます。これは最悪の事態です。私たちは、エネルギー効率の高いウェーハヒーターを製造し、温度をしっかりと制御しようとしますが、実際の問題は熱そ...

何か問題が発生したときでも、ウェーハをきれいな状態に保つ方法 大量生産を行う工場では、赤外線ランプが故障するのは大きな問題です。単に停電するだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に散乱してしまいます。一度故障すれば、そのバッチ全体が無駄になってしまいます。 私たちは、そう...

機械の壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、この問題を知っているでしょう。特定の部品を加熱しようとしても、突然、機械全体が非常に熱くなってしまいます。これは本当にイライラします。 問題は、ほとんどのヒーターがエネルギーを四方八方に放出してしまうことです。つまり、エネ...