なぜファブでは赤外線加熱が強制送風より優れているのか 半導体製造に携わったことがある人なら、待つという苦痛を知っているはずです。 長年にわたり、私たちは強制送風に頼ってきました。つまり、熱い空気を送って作業を進めるわけです。しかし、これには問題があります。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェー...

空気を加熱するのはやめよう：なぜIRエミッターが強制送風方式より優れているのか もし依然として半導体加工に強制送風方式を使っているのであれば、それは物理法則に逆らって戦っているに過ぎません。 考えてみてください。空気は熱の伝導性が非常に悪いです。空気循環に頼る場合、ウェーハが何かを感じる前に、まず...

ウェーハの汚染という悪夢を止めるには 正直に言って、高負荷運転中にIRランプが壊れてしまうと、それは大惨事です。停止時間だけが問題なわけではありません。ウェーハの上にはガラスの破片やタングステンフィラメントが飛び散ります。一瞬でそのロットのウェーハは廃棄処分になり、チャンバー全体を徹底的に清掃する...