空気を加熱するのはやめよう：なぜIRエミッターが強制送風方式より優れているのか
もし依然として半導体加工に強制送風方式を使っているのであれば、それは物理法則に逆らって戦っているに過ぎません。 考えてみてください。空気は熱の伝導性が非常に悪いです。空気循環に頼る場合、ウェーハが何かを感じる前に、まずチャンバーの温度を上げるのに時間がかかります。これは非効率的で、イライラさせられます。そして、本来部品を製造するために使える時間が無駄になります。 IRエミッターに切り替えることで、全く状況が変わります。部屋全体を温める代わりに、IR光線が直接基板にエネルギーを与えます。 これは天と地ほどの違いです。空気が温まるのを待つ必要がなく、数秒で目標の温度に到達します。数秒です。1シフトあたりに大きな時間の節約になります。
ヒミツはエンドキャップにある
IRエミッターは単なる即席のヒーターではありません。それは精密なシステムです。半導体加工に必要な高いワット密度を得るためには、電気接点が石英管に接続される部分が問題になります。そこが壊れやすいのです。 そのため、私たちはセラミック製のエンドキャップを使用します。 セラミックは高温になっても変形したり酸化したりしません。これにより、汚染物質がエミッター内に入らないようになります。安価なプラスチックや低品質の合金を使った場合、そのキャップはすぐに壊れてしまいます。そうなると、真空漏れや短絡が発生し、「安上がり」の修理が結局は莫大な損失を招くことになります。
注意すべき点
IRエミッターの利点は、目的の部分だけを加熱できる点です。機械全体を温める必要がないので、処理時間が大幅に短縮されます。 しかし、注意点もあります。 IRエミッターの効果が速いため、設定値を超えてしまう可能性があります。PIDコントローラーが放射熱に対応していない場合、目標温度を超えてしまうことがあります。また、セラミック製のエンドキャップは装置のサイズを少し大きくするため、取り付けブラケットをしっかり確認して、すべてがしっかり固定されているか確認してください。 私たちが作るエミッターは、厳しい条件でも機能するように設計されています。ただし、初めて接続する際には、電源が初期の電流ピークに耐えられるか確認してください。 これさえ解決すれば、古い空気循環式システムの代わりに簡単に取り付けることができ、全体の処理が迅速かつスムーズに行えます。