MEMSセンサウェハ乾燥ヒーター

乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームを使用しているのであれば、その悩みはよくご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや化学物質の蒸気があっても、そのロット全体が台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子が実際にはかなり汚れているというこ...