乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために
もし、クラス100のクリーンルームを使用しているのであれば、その悩みはよくご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや化学物質の蒸気があっても、そのロット全体が台無しになってしまいます。
問題は、ほとんどの加熱素子が実際にはかなり汚れているということです。加熱されると、微細な破片が飛び散ったり、揮発性有機化合物（VOC）がウェーハに付着したりします。これは災害を招く要因です。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用します。このランプではそういうことは起こりません。
なぜ純粋な石英を使うのか
私たちが融成シリカを使うのは、それが丈夫だからです。一般的なガラスや安価な石英は、高温になると破損したり、剥がれ落ちたりしますが、融成シリカはそうではありません。
最良な点は、IR放射線がウェーハ表面の液体膜を直接透過することです。これにより水分が迅速に蒸発し、ウェーハに何も触れないため、傷や汚れの心配もありません。
適切な温度の調整
ここでは短波長のIRを使用します。これにより、ウェーハ表面にほぼ即座に熱が届きます。非常に速いのです。もし溶剤が十分に早く蒸発しなければ、水滴が残ってしまいます。
私たちは、ウェーハ全体に均一な熱が行き渡るように、ワット数や電圧を慎重に調整します。ただし、速度を上げるために出力を強くする場合は、基板ホルダーがその熱に耐えられるか確認する必要があります。さもないと、ウェーハが変形してしまいます。
全体の設計
私たちは、余計な部品を排除したシンプルな設計を採用しています。ほこりが溜まりやすいような大きなケースはありません。接続部も最小限に抑えられているため、壊れる可能性も低くなります。また、電気的な接続部分から加熱領域に粒子が漏れ込まないように、特別なシールも使用しています。
最後に、これらのランプは非常に熱くなります。そのため、ランプの端部分に専用の冷却装置を設置することをお勧めします。そうすれば、長時間の稼働中でもランプが破損するのを防げます。