半導体ウェーハの適切な乾燥方法（無駄なエネルギー消費を避けて） ウェーハを扱う際には、水分を速やかに除去する必要があります。しかし、力を入れすぎるとウェーハが破損してしまう危険があります。長い間、人々は従来の対流式乾燥装置を使ってきましたが、今ではデジタル式の赤外線乾燥装置が使われています。なぜで...

リソグラフィフロアでは、シンクから戻ってくる湿ったFOUPは、視覚的に確認する前に問題を感じ取れます。残留水分はソフトベイクのドリフト、ライン幅の変動、歩留まりの低下を引き起こします。FOUPはトラックに投入される前に完全に乾燥している必要があり、その乾燥状態はロットごとに安定して再現されなければ...