信頼できるウェーハヒーターブランド

ワークピースは、ソフトベイク、ハードベイク、そしてキュアリングといった工程を経由します。この過程でわずかなずれも許されません。フォトレジストを焼成する際に2°Cの温度差があると、ノード上に橋状の欠陥が生じてしまいます。また、乾燥時に温度が低すぎると、後に致命的な欠陥となる粒子が残ってしまいます。こ...