クラス100のクリーンルーム用ヒーターの選定方法 クラス100のクリーンルームで加熱を行う際には、適当なヒーターを使ってはいけません。空気が非常に清純であるため、わずかなほこりやガスの混入だけでもすべてを台無しにしてしまいます。 そこで私たちは、UHP（超純度）クォーツ赤外線ランプを開発しました。...

300mmラインでは、フォトレジストの焼成中に15分間だけでも温度が変動すれば、そのロット全体がダメになってしまいます。だからこそ、私たちはリソグラフィーベイ用に超純水を加熱するための特殊なランプを開発したのです。ここでは、温度の均一性や稼働時間が非常に重要であり、それらが製品の歩留まりを決定しま...