クラス100のクリーンルーム用ヒーターの選定方法
クラス100のクリーンルームで加熱を行う際には、適当なヒーターを使ってはいけません。空気が非常に清純であるため、わずかなほこりやガスの混入だけでもすべてを台無しにしてしまいます。
そこで私たちは、UHP（超純度）クォーツ赤外線ランプを開発しました。このランプは、空気中に一切の粒子や残留物を混入させずに、十分な熱を供給するという目的のためだけに作られています。
重要なのは、限られた空間内に強力な熱を送り込むことです。ランプのコアは300mmのクォーツチューブで、狭いスペースにも簡単に収めることができます。そのため、機械全体を再設計する必要はありません。
通常の電圧ではなく400Vで動作させます。高電圧によって、短い距離で大量のエネルギーを供給できるからです。出力は2500Wに設定されており、これによって迅速に高温状態を実現できます。特に、大批量生産の場合には有効です。
しかし、このような高出力を小さなパッケージに詰め込むには、冷却や温度管理が必須です。ランプからは集中したエネルギーが放出されるため、周囲の温度を適切に維持する必要があります。
詳細が重要な理由
材料について言えば、チューブは高純度のクォーツで作られています。これは単なる見栄えのためではありません。高温度でも耐えられ、安定した性能を保ちます。UHPグレードであることも重要で、これにより微量の金属やガスが含まれず、強力な化学薬品を使わずに表面を清潔に保つことができます。
内部には、短波赤外線ハロゲン素子があり、これにより迅速かつ正確な制御が可能です。内部のハロゲンサイクルにより、フィラメントが安定し、出力も一定に保たれます。そのため、メンテナンスのタイミングを予測しやすくなります。
接続部分にはR7sコネクタを使用しています。これは2ピンのエンドキャップで、一般的な工業用インターフェースです。配線も簡単で、標準的なセラミックホルダーとも互換性があります。既存の装置に直接取り付けることができます。
実際の使用感
半導体ウエハーの処理や精密な医薬品の乾燥、重要な電子部品の組み立てなど、汚染が許されない工程を行う際には、信頼できるヒーターが必要です。問題の原因にならないようにしなければなりません。
このUHPクォーツIRランプは、加熱領域を清潔に保ちます。粒子を飛ばすこともなく、高温で分解したり劣化したりする材料も使用されていません。
短波の熱は速くて集中しているため、部品が環境にさらされる時間が短くなります。これにより、より高い生産性とより厳密な温度管理が可能になります。
結局のところ、このヒーターはコンパクトで、迅速に設置でき、安定した出力を発揮します。また、クリーンルームの汚染制御にも支障を与えません。
ただし、機械がその熱負荷に対応できるように設定されていることが重要です。300mmのチューブに2500Wの電力が詰め込まれているので、システムはそれに対応できる必要があります。