クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、加熱というのは単に適切な温度を維持するだけではありません。これは、微小な粒子との戦いでもあるのです。 一般的な加熱素子は、このような環境では役に立ちません。それらは目に見えないほど微細な粒子を放出し、ウェーハ...