クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業する際、加熱というのは単に適切な温度を維持するだけではありません。これは、微小な粒子との戦いでもあるのです。
一般的な加熱素子は、このような環境では役に立ちません。それらは目に見えないほど微細な粒子を放出し、ウェーハや光学部品を破壊してしまいます。私たちは、高純度の融結石英製の赤外線ランプを使用してこの問題に対処しています。
石英が重要な理由
私たちは、合成融結石英をランプの外殻として使用しています。なぜでしょうか？それは、大きな熱衝撃を受けても割れないからです。さらに重要なのは、高温になっても有害な有機化合物を放出しない点です。
安価なランプは、通常、品質の悪いガラスで作られており、剥がれたりガスを放出したりします。これは絶対に避けたいことです。私たちの石英は、初期の起動時でさえも何も放出しないように設計されています。
力率とスペース
誰も、床全体を占領する巨大なオーブンを欲しがりません。必要な熱量を得つつ、スペースを小さく保つために、私たちはワット数と長さの比率に重点を置いています。
高出力の短波ランプを使用すれば、加熱エリアを狭く保つことができます。これにより、応答時間が短縮され、PID制御もより正確に行えます。
しかし、問題もあります。高い熱密度のため、ランプの表面が灼熱状態になります。そのため、冷却ファンやシールドの使い方には注意が必要です。空気の流れが弱ければ、ランプやオーブンの筐体が損傷する危険があります。ファンには手を抜かないでください。
設置方法
私たちは、シンプルな方法を採用しています。R7sやSK15といった業界標準のコネクタを使用するので、ランプが壊れても新しいものを取り付けるだけで済みます。
ここには接着剤や有機塗料は一切使用されていません。接着剤も樹脂も使わず、純粋に機械的な接続方式を採用しています。これにより、空気が清潔なまま保たれます。
最後に、電源が十分に安定していることが重要です。電圧の変動は大敵です。入力電圧が10％しか変動しても、赤外線の波長や熱出力が変わってしまいます。そうなると、全体の工程が乱れてしまいます。定格電圧を厳守すれば、サイクルタイムも安定します。